工学部

教育研究施設

贅沢な「自分だけの」実験ブース

「目に見えない世界」を「電子の眼で見る」匠の技を磨く。

  • 電子工学科では電子回路技術の初歩をしっかり学び、先端計測まで確実にステップアップできるように、新たに独自の実験ブースを設けました。
  • 一人一人が集中して取り組めるように全部で100セット以上を完備、各自が同じブースをずっと使って学べます。
  • 「プロフェッショナルであるほど必要充分」な基本的な実験装置が厳選されます。また、ソフトウエア開発、各種シミュレーション、ロボット開発など様々な学習に対応したLinuxベースのコンピュータもすべてのブースに装備されています。
  • 憧れのテクノロジーへ到達する最短距離になるよう、計測・制御からデータ処理、電子回路・科学シミュレーションまで、実験とコンピュータの一体化した工学教育が実践されています。

レーザー、ナノ材料、微細加工、計測。

先端デバイス・センサーを作製するためにはナノテクノロジーが駆使されます。ここに示す装置は電子工学科において研究開発に用いられている、一例です。これからも写真をどんどん増やす予定です。お楽しみに。

アルゴン(Ar)レーザー(右手前)と光熱電気化学顕微鏡(奥)
アルゴン(Ar)レーザー(右手前)と光熱電気化学顕微鏡(奥)

電子ビーム蒸着装置
電子ビーム蒸着装置
金属、酸化物に電子ビームを当てて蒸発させて薄膜を作製する装置。

スパッタ装置
スパッタ装置
ターゲットと呼ばれる材料にArガス等を当てて材料をたたき出して薄膜を作製する装置。

走査型電子顕微鏡(SEM)
走査型電子顕微鏡(SEM)
電子線を試料の表面に走査させて表面構造を観察する装置。非破壊検査。

UHVスパッタ装置
UHVスパッタ装置
宇宙環境に近いような、超高真空(UHV)で薄膜を作製します。いい膜ができます。

マスクアライナー
マスクアライナー
微細加工の際に用います。写真が黄色いのは、それは、部屋がイエロールームだから。

電子ビーム蒸着装置
電子ビーム蒸着装置

本装置は、高融点金属の蒸着が可能な電子銃(EBガン)およびクヌーセンセル(K-セル)により最大8元までの元素が同時搭載可能な蒸着装置であり、任意の順序による多層膜の作製、および同時蒸着により組成を制御した合金膜の作製が可能である。また、本装置は試料交換室と成膜室の2室から構成され、その2 室間はロードロックで接続されているために、大気の暴露無く試料交換が可能である。

超高真空スパッタ装置
超高真空スパッタ装置

本装置は、試料交換室とスパッタ成膜室の2室構成であり、試料の交換はロードロックを用いて行う。これによりスパッタ成膜室の真空度を保ったまま基板交換が可能である。また、マグネトロン方式のスパッタカソードが8個(DC x5、RF x 3)が搭載され、任意の順序による多層膜の作製、また同時成膜により組成を制御した合金膜の作製を大気の暴露無く行うことが可能である。

2次元検出器搭載X線回折装置
2次元検出器搭載X線回折装置

本装置はX線回折法により薄膜材料・バルク試料の結晶構造の評価を行うための設備であり、特徴としては、2次元PSPC(位置敏感型比例検出器)をはじめとするプリアライメントされた各種光学系モジュールの交換により多彩な評価手法に容易に対応できること、また湾曲多層膜ミラー(ゲーベルミラー)によりX 線の発散を押さえた高強度平行ビームを使用して高精度の測定が行えることなどが挙げられ、開発される様々な材料・デバイスに対して高度な構造評価が可能である。

超伝導量子干渉磁束計
超伝導量子干渉磁束計

本装置は、温度を極低温から常温程度の範囲で制御し、さらに磁場をゼロ磁場から最大70kOeもの強磁場の範囲で制御を行うことができるものである。また磁気モ-メントをSQUID素子を用いて、超高感度(10-8 emu)に測定が可能であり、得られた磁気モーメントより、様々な物質の物理特性の評価により、新素材の開発・研究に利用可能である。

このページの内容に関するお問い合わせ
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多賀城キャンパス実験実習指導・教育研究支援係
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