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2007/09/28
トピックス（2007年9月28日更新 全3ページ）
トピックス３
「ＭＥＭＳ真空インジケータ」の開発、（株）メムス・コアと（株）アーズ
（株）メムス・コアと（株）アーズは、「ＭＥＭＳ真空インジケータ」を開発し、サンプル出荷を開始。温度をシリコンのダイオード温度センサ（ダイオードサーミスタ）で計測し、真空度に換算する。ヒータでシリコン薄膜を加熱して置き、高真空になると空気に熱が逃げにくいので、温度が高いままだが、真空度が低い（1気圧に近づく）と熱が逃げやすく、温度が低下する原理を利用。東北学院大学工学部電子工学科木村光照教授の研究成果を活用。（株）メムス・コア社は、センサ部の開発を担当し、（株）アーズ社は、制御回路の開発を担当した。1気圧から50ミリパスカルまで計測可能で、体積は従来の半分。
記事：日経産業新聞（2007年9月11日 第1面）