
本研究室で開発した半導体デバイス
世界でオンリーワンの技術を駆使して
新構造デバイスについて総合的に研究
薄膜トランジスタに注目し、フレキシブル基板上や3次元(縦方向)への集積を目指した半導体結晶成長技術・プロセス技術・新構造デバイスに関する総合的研究。
- 研究テーマ
- 薄膜トランジスタのフレキシブル化・高性能化・高機能化・3次元集積化
半導体中における局所ナノ構造の創成・物性制御・デバイス応用 - 研究キーワード
- 半導体 デバイス トランジスタ 薄膜 薄膜トランジスタ ナノ など
- 研究指導できる課程
- 博士課程前期課程博士課程後期課程