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原明人教授 文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム利用成果発表会で報告

2018年09月28日

 原明人教授(電気電子工学科 半導体材料デバイス工学研究室)の研究成果が、文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム利用成果発表会で報告されました。
 広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所が有する高精度イオン注入技術の支援を受け、本学の固体デバイス実験室(クリーンルーム実験室)で開発したガラス基板上のIoTエッジ向け薄膜トランジスタ(半導体デバイス)に関する研究報告です。
 文部科学省ナノテクノロジープラットフォームは最先端施設・設備を全国の研究者に提供しています。
 本発表会は、微細構造解析、微細加工、分子・物質合成の三つの分野の3000件の利用実績の中から、科学イノベーションにつながる厳選された成果52件(実施機関の推薦による)をプレゼンテーションやポスターで公開する催しで、9月27日に東京大学で開催されました。
*上記内容:文部科学省ナノテクノロジープラットフォームホームページより

研究テーマ:ガラス基板上の4端⼦低温多結晶シリコン薄膜トランジスタ
推薦機関:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

文部科学省ナノテクノロジープラットフォームはこちらをご覧ください。
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