濱高有輝さん（機械知能工学科4年）らが「工械技術機械振興賞奨励賞」を受賞
2023年06月28日
6月22日、東京都で公益財団法人工作機械技術振興財団による受賞式が行われ、濱高有輝さん（機械知能工学科4年）らのチームが「結合材に不織布を用いた砥石開発と研削性能の評価」で第44次「工作機械技術振興賞奨励賞」を受賞しました。
この研究は濱高さんのほか、松浦寛教授（機械知能工学科）、井上慶星さん（大学院機械工学専攻2年）、発表時大学院機械工学専攻に在籍していた齋裕大さん（現:王子製紙）、南條健人さん（大学院機械工学専攻1年）と産業総合技術研究所の相澤崇史グループ長との共同研究で行われました。
【題名】
結合材に不織布を用いた砥石開発と研削性能の評価
【研究概要】
半導体ウエハの表面を研磨するにはCMPと呼ばれるケミカル研磨が行われています。 非常に優れた加工方法ですが、大量の研磨剤を使いながら化学的な作用を利用するため廃液処理をする必要があり環境に優しいとはいえません。そこで本研究では、産業技術総合研究所と共同で、二酸化炭素を亜臨界にして不織布（熱可塑性樹脂）を可塑化させ、その表面にダイヤモンド砥粒を付ける方法を開発しました。今回の受賞は、開発した方法の原理確認と研磨工具としての性能を評価したことに対するものです。
【研究者】
相澤 崇史氏（産業技術総合研究所グループ長）
濱高 有輝さん、松浦 寛教授、井上 慶星さん、齋 裕大さん、南條 健人さん
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